Les caméras infrarouges de haute résolution Silver 660M de Flir ATS sont utilisées pour caractériser
le comportement thermique des MEMS
(Micro-Electro-Mechanical Systems).
· Détecteur InSb dans la bande spectrale MWIR
(2-5 µm)
· Résolution : 640 x 512 pixels
· Fréquence d'acquisition programmable de 1 à 100 Hz
· NETD : < 20 mK
· Etendue de mesure : de ‑ 20 à 300 °C ou de 300 à 1 500 °C
· Dimensions : 310 x 135 x 165 mm
· Masse : 3,6 kg
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