Cet instrument est destiné aux processus de préparation d'échantillons de haute précision.
Zeiss a dévoilé aujourd’hui le nouveau microscope électronique à balayage à faisceau ionique focalisé (FIB-SEM) Zeiss Crossbeam 750, optimisé pour la préparation d’échantillons exigeante. Il offre une visualisation en direct et en haute résolution dans toutes les conditions d’imagerie et de fraisage, permettant ainsi un retour d’information immédiat et éliminant les interruptions de fraisage, pour obtenir des lamelles de microscopie électronique à transmission (TEM) uniformes dès le premier passage et des coupes transversales FIB précises.
Pour les flux de travail avancés dans le domaine des semi-conducteurs et des matériaux, le Crossbeam 750 FIB-SEM, équipé de la nouvelle optique électronique Gemini 4, offre une détection en temps réel sans bruit de fond et une précision subnanométrique pour les lamelles TEM et l'analyse tridimensionnelle (3D) haute fidélité. Il est idéal pour l'analyse des dispositifs logiques et de mémoire de pointe, ainsi que pour la nanofabrication et l'imagerie volumique 3D. Pour la recherche sur les matériaux et les sciences de la vie, le Crossbeam 750 accélère les temps d'acquisition pour la tomographie 3D grâce à un champ de vision plus large et une distorsion réduite.
« Le Zeiss Crossbeam 750 a été conçu autour d’un principe fondamental : nos clients ne devraient pas avoir à interrompre le fraisage pour voir sur quelle partie de leur échantillon ils travaillent, a déclaré le Dr Thomas Rodgers, directeur principal de la stratégie commerciale et responsable du secteur d’activité Électronique chez Zeiss Microscopy. Notre nouvelle fonctionnalité Mill + SEM à plage dynamique élevée (HDR) garantit une image SEM claire et haute résolution dans toutes les conditions FIB, du fraisage rapide à courant élevé jusqu’au polissage fin à 0,5 kV. Cette netteté en temps réel, associée à l’optique électronique Gemini 4, permet aux clients d’affiner leurs processus au fur et à mesure qu’ils travaillent, ce qui réduit les retouches, améliore le rendement et permet d’obtenir des lamelles très uniformes dès le premier passage. »
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