Ce premier déploiement en environnement de production doit permettre de valider la technologie sur des procédés avancés de fabrication et de packaging des puces.
Wooptix annonce l'installation de son système de métrologie Phemet au CEA-Leti, à Grenoble. Il s'agit du premier déploiement en production de cette plateforme, lancée fin 2025, ainsi que du début d'une collaboration entre les deux partenaires autour de la métrologie des procédés de fabrication des semi-conducteurs. Installé dans un environnement de salle blanche industrielle, le système sera utilisé pour des travaux portant sur la signature des procédés à l'échelle du wafer, la nanotopographie et les technologies de packaging avancé. Cette collaboration doit également permettre à Wooptix de valider et d'optimiser sa technologie sur des procédés de pointe, tout en explorant de nouveaux cas d'usage.
« Cette installation représente une étape majeure pour Wooptix et une avancée nécessaire dans notre feuille de route pour soutenir les principaux fabricants de semi-conducteurs dans le monde », explique José Manuel Ramos, CEO de Wooptix.
Reposant sur une technologie d'imagerie de phase par front d'onde, Phemet réalise des mesures de la géométrie des wafers avec une résolution inférieure au nanomètre. L'équipement vise à répondre aux besoins croissants de contrôle des procédés liés à la miniaturisation des composants et au développement des architectures de packaging avancé.
Pour le CEA-Leti, cette plateforme doit également contribuer aux projets de recherche européens consacrés aux technologies de nouvelle génération et à l'amélioration des procédés de fabrication des semi-conducteurs.
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