Mesures · préproductionMahalo : MESURES n° 14 · commandes de test Inklura

Ellipsomètre à modulation de phase

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# Fonctionnement possible dans deux modes : sous azote ou sous vide primaire (5x10-2 mbar)

# Consommation d'azote d’environ 6 l/min

# Chargement rapide des échantillons, deux minutes suffisant pour que l’appareil soit prêt à mesurer

# Temps de mesure inférieur à 8 min sur la gamme 147-850 nm

# Réduction du temps de purge de la chambre

# Logiciel DeltaPsi 2 pour le pilotage, l’acquisition de données, la modélisation, les recettes automatiques et la génération de rapports d’analyse

# Adaptation possible, entièrement automatisée, pour la production industrielle

Horiba France

www.horiba.com

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